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Stiletto IPM 用于 200mm 溅镀蚀刻清洁
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用于现场计量和过程控制的粒子检测系统
Stiletto IPM 是一款粒子检测系统，能够实现//现场//计量和过程控制，从而提高最先进的半导体过程的产量和生产率。 Stiletto 是首个完全与过程工具集成的现场粒子监控系统 (ISPM)。 当与参数工具数据结合时，设备状态可以覆盖粒子计数，以便工程师确定准确的时间和粒子形成的原因。 在每个晶圆每次加工的过程中，Stiletto 都能够检测粒子，可提供空前的保护以防止缺陷所导致的产量损失。
扫描提高了灵敏度
Stiletto 谐振扫描仪连续监控的体积比现有现场粒子监控器采用的固定激光束系统大的多，因而能够为过程控制在统计上提供显著的计数率。 此外，重复扫描同一体积可进行自动修正，这项高级信号处理技术可真正消除错误的计数。 与上述尖端技术的结合可实现超微灵敏度，从而能够检测"杀伤粒子"以免发生有害事件。 这样您就能随时对每个晶圆的每次加工进行可靠的故障检测。
功能概览：
- 谐振扫描激光扩大了检测区域，实现精确的粒子尺寸测量
- 高级信号处理技术确认粒子事件并真正消除错误警报
- 提高产量，减少测试晶圆，进而降低成本
- 提高生产力和工具可用性
- 传感器总线通信符合现有 AEC/APC 系统的要求
- 适用于过程腔室、传输腔室和预抽真空室中的泵管线和上晶圆应用
相关技术信息：
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Stiletto Scanning-Laser Particle Detector
English
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Technical Information:
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Application Note - Endpoint Detection for Chamber Clean / Novellus SPEED Nitride CVD
English
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Application Note - Integrated Process Monitoring for Sputter Etch Clean
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