检测 PVD 工具除气室中的光阻，减轻可能导致高代价停工和大规模清洗的污染。
INFICON 光阻检测器可持续监控除气室，检测受 PVD 群集工具中光阻污染的晶圆。
每个晶圆除气时，光阻检测器都会对其进行扫描，并且晶圆上由于某块区域除气不彻底或者被遗漏而残留即使极微量的光阻剂组合物时，光阻检测器都会发出警报。 高灵敏度传感器发送的信号可以用于自动关闭群集工具，以抑制损坏，避免代价高昂的产量问题。
经过对生产工具进行广泛的测试，证明光阻检测器具有高度可靠性，可以帮助消除灾难性的工具污染。 因而，减少了工具停工以进行排气和清洁的时间。 此外，光阻检测器还可以减少由于晶圆上残留极微量的光阻而引致的薄膜沉积问题。
相关技术信息：
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Brochures and Datasheets:
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Brochure - Preclude Photoresist Detector
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