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高真空室的自动监控与诊断系统
INFICON Transpector® 内置式过程监控器 (IPM) 是用于高真空室的自动监控和诊断系统。 Transpector IPM 是在 Transpector RGA 技术的基础上构建的，完全集成到过程工具中。
许多晶圆和显示面板制造过程对真空质量和完整性有着极其严苛的要求。 Transpector IPM 具有极其灵敏的残余气体分析技术，可以在高真空制造期间提供准确且可重复的测量。 此外，Transpector IPM 使对光谱解析的疑虑一扫而空。 监控、数据采集和数据分析都是全自动完成。
一般应用：
- 氦气泄漏检测
- 持续空气泄漏监控
- 污染检测
- 基本真空条件
功能概览：
- 配备组合式法拉第杯/电子倍增器，质量范围上限可达 100 AMU
- 自动 EM 增益调整
- 九个数量级的动态量程
- 自动调整质量位置和分辨率
- 可变停留时间，具有优良的信噪比
- 5E-15 Torr 的 MDPP
相关技术资料
技术资料:
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Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English
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Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English
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