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带 FabGuard 传感器集成与分析系统的射频传感器技术
带有 FabGuard 集成软件的射频传感器能够实时提供等离子过程分析，大幅降低过程变异性
INFICON 射频传感器技术提供高精度、多变量的射频数据，帮助用户详细了解过程开发和生产过程问题中的实际等离子状态，从而大幅降低过程变异性。 这款非侵入式射频传感器是先进过程控制//现场//传感器系列中的最新产品，可结合 FabGuard 传感器集成与分析系统 提供重要的诊断信息，例如，准确和可重复的腔室清洗和过程终点、故障根源分析（如等离子电弧），以及用于 PVD、CVD 和蚀刻应用中腔室匹配的过程“指纹”识别。
INFICON 射频传感器技术利用 FabGuard 打造了高精确的产品，可通过对基本电压电流和谐波电压电流进行测量与分析，预测晶片计量结果，因而工程师能够控制每个加工晶片的实际晶片计量结果。 现在，FabGuard 独一无二的强大算法性能与射频传感技术完美结合，可以基于实时测量以及易于理解的用户界面所提供的相关性分析，显著提高半导过程的可重复性、稳定性和准确性。
应用
CVD
- 终点 / 优化 现场 等离子腔室清洗过程
- 控制输出功率的有功功率
- FDC（如电弧检测、充电）
- 腔室匹配（射频指纹）
PVD
- 晶片阻抗等晶片参数的建模
- FDC（如电弧检测、充电）
- 腔室匹配（射频指纹）
蚀刻
- 蚀刻过程的终点控制
- 控制输出功率的有功功率
- 蚀刻速率等过程参数的建模
- FDC
- 腔室匹配（射频指纹）
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FabGuard FDC
管理过程、工具或整个工厂
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