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>    集成式过程监控   

Products:

> 带有 FabGuard 的射频传感技术
> 检漏仪
> 残余气体分析仪
> 真空元件
> 真空计
> 真空阀和气体计量系统
> 集成式过程监控
 
•  PVD Degas Monitoring
•  Preclude IPM Photoresist Detector for 200mm and 300mm PVD Degas Chambers
•  Stiletto IPM for 200mm Sputter Etch Clean
•  Transpector IPM Gas Analysis System
   
> FabGuard 软件套件



内置式过程监控
内置式过程监控可以直接测量过程条件，以便及时执行计量。 INFICON 内置式过程监控器利用//现场//传感器的功能对实际过程条件进行测量，供设备、过程和晶圆计量实时使用。

IPM 应用 – 全程计量

设备计量：
  • 真空系统诊断
  • 基本真空检查
  • 晶圆间监控
*氦气泄漏检测
  • 真空完整性
  • PM 回收条件
  • 粒子源鉴定
  • 故障检测

过程计量：
  • 反应室清洗预测
  • 自动统计过程控制 (SPC)
  • 自动报告生成
  • 反应室清洗终点
  • 过程终点

晶圆计量：
  • 薄膜特性建模
  • 产量预测

功能概览
  • 先进的传感器集成与同步
  • 复杂过程变量的实时监控和分析
  • 基于偏移检测的工具集成
  • 手动操作排除工具故障
  • 本地过程和设备数据存档

INFICON 集成式过程监控器

光阻检测器用于 200mm PVD 除气室

检测 PVD 工具除气室中的光阻，减轻可能导致高代价停工和大规模清洗的污染。

FabGuard 传感器集成与分析系统射频传感技术

实时提供等离子过程分析，大幅降低过程变异性

Stiletto IPM 用于 200mm 溅镀蚀刻清洁

用于//现场//计量和过程控制的粒子检测系统

Transpector IPM 气体分析系统

高真空室的自动监控与诊断系统

Featured Product

用于等离子弧检测的 Sion 射频检测器 - 超强超快地分析微弧




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FabGuard FDC
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