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!! 內置式過程監控!!
內置式過程監控爲實時計量提供直接的制程條件測量。INFICON 內置式過程監測器可控制 現場 感測器的功率，量測實際製程條件，提供即時的設備、製程及晶圓量測。
充分理解制程條件將獲得重大成績
晶圓表面或平板表面的變化將取决于實際的制程條件。然而，實際的制程條件通常與期望的制程條件不同。過程配方也不保證生成預計的晶圓。直接測量是真實瞭解制程條件幷保證生産合格産品的唯一途徑。內置式過程監控器 (IPM) 爲每個晶圓提供制程條件的//現場//測量。
監控設備參數對于瞭解過程狀態的某些方面非常有用。然而，工具數據僅能提供整體情况的一部分。工具數據所得結果的優良通常由內嵌工具儀錶測出的少數過程測量得出。重大成績則通過對制程條件的充分理解而獲得。整體情况的瞭解將由 IPM 完成。
//非現場//計量是過程執行的最終測量。然而，傳統計量不會在過程發生問題時及時提供反饋。而且，制程條件可能由于多種原因而超出容許極限。傳統計量在查明微小問題源時幾乎沒什麽幫助。使用 INFICON IPM 便可瞭解每個晶圓的制程條件。這不僅節約晶圓，還能節省寶貴的時間，從而無需再進行試驗以找到幷分離産品漂移。內置式過程監控通過實時分析制程條件，提供全程計量。
利用內置式過程傳感器的功能
産品的産出與可測量的制程條件有關。制程條件受許多因素影響，包括設備健全性、配方的執行和晶圓等。IPM 能够直接測量這些影響因素幷瞭解這些因素對晶圓産出的影響。
IPM 系統由//現場//傳感器和自動控制該傳感器的控制系統組成。基于分析儀器的//現場//傳感器可直接測量過程和設備條件的諸多方面。過去，使用高級分光傳感器幷解釋其數據的過程是一個人工進行的、計算量龐大的過程，在製造業幷不實用。
IPM 結合高度自動化，以運行傳感器幷收集其數據。同等重要的是，IPM 系統能自動地實時解釋複雜傳感器數據。過程監控可應用于多個級別，從在室內級別運行的自帶應用軟件到企業範圍 APC 網絡的 IPM 信息集成。完整且未壓縮的過程數據將一直保留在 IPM 系統中，以便進行即刻分析或上載到企業網絡，如 APC 系統中。
IPM應用程序 – 全程計量
設備計量：
- 真空系統診斷
- 基礎真空檢查
- 晶圓間監控
- 氦氣洩漏檢查
- 真空完整性
- PM 回收條件
- 粒子源鑒
- 故障檢測
過程計量：
- 反應室清洗預測
- 自動統計過程控制 (SPC)
- 自動報告生成
- 反應室清洗終點
- 制程終點
晶圓計量：
IPM實施方案
單獨的IPM 應用
因爲許多應用軟件需要來自 IPM 系統的即刻響應，因此對過程和設備數據的分析是實時的。任何必要動作（如停止工具以保護産品晶圓）都可以即時發出。
過程和設備數據服務器：
許多 AEC/APC 網絡依賴從過程設備直接獲取的參數工具數據。許多潜在的客戶端應用程序都可使用此數據。IPM 系統獲取的過程和設備數據可大大增强任何 APC 系統。然而，由//現場//傳感器所獲取的過程數據需要特殊的考慮事項。例如，高級傳感器能産生非常高的數據速率。這會對已經被其他數據源（如從多個工具收集的大量 SVID）占用的網絡帶寬造成負擔。此外，原始傳感器數據通常需要專門解釋。上述兩個問題都可由 IPM 系統解决。IPM 系統提供具有用戶定義功能的强大套件，具備預處理原始數據的功能，因而只將經過解釋的相關信息傳遞到 APC 網絡。預處理信息的示例包括：每個晶圓可由用戶定義的存貯統計信息、連續工具、過程健全性指示、警報和警告。
IPM 系統爲 APC 程序提供利用處理數據的最佳方式。所有原始、未壓縮的數據以及已解釋的信息均隨時可用。APC 應用程序只不過相當于導入其中的數據。過程數據源自實際測量物理特性的自動傳感器。數據質量取决于一個晶圓接一個晶圓地理解傳感器特性。IPM 系統减輕 APC 網絡用于管理//現場//傳感器和保證傳感器數據質量所需的費用。來自//現場//傳感器的過程數據將進行校準和驗證。
IPM 功能概覽
- 先進的傳感器集成與同步
- 複雜過程變量的實時監控和分析
- 基于偏移檢測的工具集成
- 手動操作排除工具故障
- 本地過程和設備數據存檔
INFICON 內置式過程監控器：
[IPM 光阻檢測器用于 200mm 和 300mm PVD 除氣室 precludeipm.html}
檢測 PVD 工具除氣室的光阻，减輕可能導致高代價停工和大規模清洗的污染。
帶有 FabGuard 傳感器集成和分析系統的射頻傳感器技術
提供實時等離子處理分析以大幅降低過程的不穩定性。
Stiletto IPM用于 200mm 濺射刻蝕清洗
//用于//現場//計量和過程控制的粒子檢測系統
Transpector IPM 氣體分析系統
高真空室的自動監控與診斷系統
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