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FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템을 이용한 RF 센서 기술
공정 변동성을 크기 줄이는 실시간 플라즈마 공정 분석이 가능한 FabGuard통합 소프트웨어가 포함된 RF 센서
INFICON RF 센서 기술은 공정 개발 및 생산 공정 문제의 실제 플라즈마 조건에 대해 매우 정확한 다변량 RF 데이터를 제공하므로 공정 변동성을 크게 줄여줍니다. 최신 첨단 공정 제어 현장 센서 스위트 제품인 이 비간섭적 RF 센서는 FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템과 결합하여 PVD, CVD 및 에칭 응용분야에서 정확하고 반복 가능한 챔버 청소 및 공정 엔드포인트, 고장의 근본원인(매칭 네트워크 문제 등) 분석, 챔버 매칭을 위한 공정 지문과 같은 핵심 진단 정보를 제공합니다.
FabGuard를 포함한 INFICON RF 센서 기술은 기본 및 고조파 전압과 전류에 대한 측정 및 분석으로 웨이퍼 계측 결과를 예측하는 매우 정확한 모델을 생성하므로, 엔지니어들은 모든 가공 웨이퍼에 대해 실제 웨이퍼의 결과를 제어할 수 있는 능력을 갖게 됩니다. 이제 유일하고 강력한 FabGuard 알고리즘 기능이 RF 센서 기술과 결합하여 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 제공되는 실시간 측정 및 상관관계에 근거한 반도체 공정의 반복성, 안정성 및 정밀성이 크게 향상되었습니다.
응용분야
CVD
- 현장 플라즈마 챔버 청소 공정의 엔드포인트 / 최적화
- 전달되는 출력의 능동적 출력 제어
- FDC (예: 아크 검출, 충전)
- 챔버 매칭(RF 지문)
PVD
- 비저항과 같은 웨이퍼 파라미터들의 모델링
- FDC (예: 아크 검출, 충전)
- 챔버 매칭(RF 지문)
에칭
- 에칭 공정의 엔드포인트 제어
- 전달되는 출력의 능동적 출력 제어
- 에칭률과 같은 공정 파라미터들의 모델링
- FDC
- 챔버 매칭(RF 지문)
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FabGuard FDC
공정, 툴 및 전체 제조공장을 관리합니다
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