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통합 공정 감시 기능은 정기적인 계측을 위한 공정 조건을 직접 측정합니다. INFICON 일체형 프로세스 모니터는 현장 센서의 능력을 활용해서 실제 반도체 공정 조건을 측정하여 설비, 공정 및 웨이퍼 측정값을 실시간으로 제공합니다.
IPM 응용분야 - 종합 계측(Total Metrology)
설비 계측:
- 진공 시스템 진단
- 기초 진공 점검
- 웨이퍼간 감시
- 헬륨 누출 점검
- 진공 무결성
- PM 회수 자격 부여
- 입자 소스 식별
- 고장 검출
공정 계측:
- 챔버 청소 예측
- 자동 통계 공정 제어(SPC)
- 자동 보고서 생성
- 챔버 청소 엔드포인트
- 공정 엔드포인트
웨이퍼 계측:
특징 요약
- 고급 센서의 통합 및 동기화
- 복잡한 공정 변수의 실시간 감시 및 해석
- 탈선 검출에 근거한 툴 통합
- 툴 문제 해결을 위한 수동 조작
- 로컬 공정 및 설비 데이터 아카이브
INFICON 통합 공정 모니터
200mm PVD 탈가스 챔버용 Preclude 포토레지스트 검출기
PVD 툴 탈가스 챔버의 포토레지스트를 검출하여 값비싼 정지시간과 포괄적인 청소를 유발시킬 수 있는 오염을 완화시킵니다.
FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템을 이용한 RF 센서 기술
실시간 플라즈마 공정 분석을 제공하여 공정 변동성을 크게 줄입니다.
200mm 에치 청소용 Stiletto IPM
현장 계측 및 공정 제어를 위한 입자 검출 시스템
Transpector IPM 가스 분석 시스템
고진공 챔버용 자동 감시 및 진단 시스템
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FabGuard FDC
공정, 툴 및 전체 제조공장을 관리합니다
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