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Transpector IPM 가스 분석 시스템
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고진공 챔버용 자동 감시 및 진단 시스템
INFICON Transpector® 통합 공정 모니터(IPM)는 고진공 챔버용 자동 감시 및 진단 시스템입니다. Transpector IPM은 Transpector RGA 기술을 바탕으로 제작되었으며 공정 툴 안으로 완전히 통합됩니다.
많은 웨이퍼 및 디스플레이 패널 제조 공정은 진공 품질 및 무결성에 대한 엄격한 요구사항을 지니고 있습니다. Transpector IPM은 민감한 잔류 가스 분석을 제공하며 고진공 제조 중에 정확하고 반복 가능한 측정을 위해 설계되었습니다. 뿐만 아니라 Transpector IPM을 사용하면 스펙트럼 해석에서 더 이상 추측이 필요 없습니다. 감시, 데이터 획득 및 데이터 분석은 완전히 자동화됩니다.
일반적인 응용분야:
- 헬륨 누출 점검
- 연속 공기 누출 감시
- 오염 검출
- 기초 진공 자격 부여
특징 요약
- 컴비네이션 패러데이 컵/전자 증배관을 이용한 100 AMU의 질량 범위
- 자동 EM 게인 조정
- 9 데케이드의 다이내믹 레인지
- 질량 포지션과 해상도의 자동 튜닝
- 가변 체류시간으로 신호 대 잡음비 우수
- 5E-15 Torr의 MDPP
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English
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Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English
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