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200mm 스퍼터 에치 청소용 Stiletto IPM
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현장 계측 및 공정 제어를 위한 입자 검출 시스템
INFICON IPM은 현장 계측 및 공정 제어가 가능한 입자 검출 시스템으로 대부분의 첨단 반도체 공정의 생산량과 생산성을 향상시킬 수 있습니다. Stiletto는 공정 툴과 완전히 통합되는 최초의 현장 입자 감시 시스템(ISPM) 입니다. 파라메트릭 툴 데이터와 결합하여 입자 계수를 설비 상태와 오버레이를 하면 엔지니어는 정확한 입자 형성 시간과 원인을 알 수 있습니다. 모든 웨이퍼의 모든 가동 중에 입자를 검출할 수 있는 Stiletto의 능력은 결함으로 인한 생산량 손실을 방지하는 전례없는 보호 기능을 제공합니다.
감도 향상을 위한 스캐닝
Stiletto 공진 스캐너는 기존 현장 입자 모니터에 사용되는 정지형 레이저빔 시스템보다 훨씬 더 큰 볼륨을 연속적으로 감시합니다. 따라서 Stiletto는 공정 제어를 위해 통계적으로 유의한 계수율을 제공할 수 있습니다. 또한 동일한 볼륨을 반복적으로 스캐닝 함으로써 허위 카운트를 거의 제거하는 고급 신호 처리 기법인 오토 코릴레이션(auto-correlation)을 허용합니다. 이러한 첨단 기술의 결합으로 방해 이벤트를 방지하면서 '킬러 입자'들을 검출할 수 있는 미크론 이하의 감도를 제공합니다. 따라서 모든 웨이퍼, 모든 가동에 대해 언제나 신뢰할 수 있는 고장 검출이 가능합니다.
특징 요약
- 검출 영역 증가 및 정확한 입자 사이증을 위한 공진 스캐닝 레이저
- 고급 신호 처리로 입자 이벤트를 확인하여 거짓 경보를 거의 제거합니다
- 생산량을 높이고 테스트 웨이퍼를 감소시켜서 비용을 절감합니다
- 생산성과 툴 가용성을 개선합니다
- 센서 버스 통신은 기존 AEC/APC 시스템과 일치합니다.
- 공정 챔버, 이송 챔버 및 로드락의 펌프 라인 및 웨이퍼 상단 응용분야에 사용할 수 있습니다
관련 기술 정보:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Stiletto Scanning-Laser Particle Detector
English
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Technical Information:
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Application Note - Endpoint Detection for Chamber Clean / Novellus SPEED Nitride CVD
English
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Application Note - Integrated Process Monitoring for Sputter Etch Clean
English
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