PVD 툴 탈가스 챔버의 포토레지스트를 검출하여 값비싼 정지시간과 포괄적인 청소를 유발시킬 수 있는 오염을 완화시킵니다.
INFICON Preclude 포토레지스트 검출기는 탈가스 챔버를 계속해서 감시하여 PVD 클러스터 툴에서 포토레지스트로 오염된 웨이퍼를 검출합니다.
Preclude는 탈가스되는 각 웨이퍼를 스캔하여 스트립이 불완전하거나 빠뜨려서 미량의 포토레지스트 화합물이 웨이퍼에 남아 있으면 경보음을 발생시킵니다. 손상을 제한하고 값비싼 생산량 문제를 방지하기 위해 고감도 센서의 신호를 이용해서 자동으로 클러스터 툴을 중단시킬 수 있습니다.
생산 툴에 대한 광범위한 시험에서 신뢰성이 입증된 Preclude 포토레지스트 검출기는 심각한 툴 오염의 영향을 제거하는데 도움을 줄 수 있습니다. 따라서 통풍과 청소를 위한 툴 정지시간이 줄어듭니다. 또한 Preclude는 웨이퍼에 남은 매우 적은 양의 포토레지스트로 인한 박막 증착 문제를 줄일 수도 있습니다.
관련 기술 정보:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Preclude Photoresist Detector
English
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