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高真空チャンバーの自動監視と診断システム
INFICONのTranspector®統合プロセスモニター（IPM）は自動監視と高真空チャンバー用のシステムを診断します。Transpector IPMはTranspector RGA技術のもとに作られ、プロセス装置に完全に統合することができます。
多くのウェハとディスプレイパネル製造プロセスにおいては真空の質と完全性が徹底的に要求されます。Transpector IPMは非常に高い感度で残留ガスを分析し、高真空製造で繰り返し、正確に計測できるようにデザインされています。さらにTranspector IPMはスペクトル解釈から当て推量を取り除きます。監視、データ収集、そしてデータ分析は完全に自動化されています。
一般的な用途
ヘリウムリークチェック
特長一覧:
- ファラデーカップ/電子増倍管の組合せで100AMUの質量範囲
- 自動EMゲイン調整
- 9 decadeのダイナミックレンジ
- 質量ポジションと解像度の自動調整
- 変動滞留時間でSN比を向上
- 5E-15TorrのMDPP
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English
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Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English
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