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Integrated Process Monitoring
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統合型プロセス計測
統合型プロセス計測では、オンタイム計測のために、プロセスの状態を直接測定することができます。インフィコンの統合型プロセスモニタは、実際のプロセス状態を測定するIn-Situセンサの能力を引き出し、リアルタイムで装置、プロセス、およびウェハに関連した計測を実現します。
プロセス状態を完全に把握することによる生産性の向上を実現
ウェハまたはパネルの表面に発生する変化は、実際のプロセスの状態により影響を受けます。しかし、実際のプロセス状態は、予測されるプロセス状態と異なることがしばしばあります。プロセスレシピは、予測されるウェハの結果を保証するものではありません。統合型プロセスモニタ（IPM）は、各ウェハのプロセス状態をIn-Situ測定します。
装置パラメータのモニタリングは、プロセスの一部の状況を理解する上では役立ちます。ただし、装置からのデータは、全体像の一部を見せるだけに過ぎません。装置からのデータに異常がなかったとしても、それはプロセス状態を完全に測定したものとはいえません。プロセス状態を完全に把握すれば、生産性の向上を実現することができます。IPMを使用することにより、プロセスの全体像を理解できます。
Ex-Situ計測は、プロセス後に他装置で行う測定です。しかし、従来の測定では、プロセスに問題が発生したときにタイムリーなフィードバックを実現できませんでした。また、プロセス状態は、多くの理由により許容範囲を超えて変化します。従来の計測は、問題源をピンポイントで特定するという点では、ほとんど役に立ちません。インフィコンのIPMを使用すると、各ウェハについてプロセス状態を知ることができます。これにより、ウェハを節約するだけでなく、欠陥製品を特定および分離するために測定をおこなう必要がなくなるため、貴重な時間を節約することができます。統合型プロセスモニタリングは、プロセス状態をリアルタイムに分析することにより、トータルなコストダウンを実現します。
統合型プロセスモニタの優位性
歩留りはプロセス状態と相関関係があります。プロセス状態は、装置の状態、レシピの出来映え、およびウェハを含む多くの要因が影響します。IPMを使用することにより、これらの影響を直接測定し、歩留りに与える影響を理解できます。
IPMシステムは、In-Situセンサおよびコントロールシステムにより自動運転を行います。In-Situセンサは、分析測定装置を基本原理とし、プロセスおよび装置の状態の様々な面を直接測定します。かつて、最新型分光センサの操作およびそのデータ解釈は、手動による煩雑な計算プロセスであったため、製造現場で使用するには実際的ではありませんでした。
IPMは、センサの操作およびセンサデータの収集が高度に自動化されています。また同様に、IPMシステムは、複雑なセンサデータをリアルタイムで自動的に分析します。チャンバーレベルで実行される自立型のアプリケーションから、工場レベルのAPCネットワークに対するIPM情報の統合まで、多様なレベルでプロセスモニタリングを適用することができます。圧縮されていない完全なプロセスデータが、常にIPMシステムに保存されているため、ただちに分析することができ、またAPCシステムのような工場ネットワークにアップロードすることもできます。
IPMアプリケーション－トータルな計測
装置計測：
・真空システムの診断
・基本的な真空チェック
・ウェハ間のモニタリング
・ヘリウムリークのチェック
・真空の異常チェック
・PM後の回復確認
・異物源の識別
・故障検出
プロセス計測：
・チャンバーのクリーニング時期予測
・自動化による統計的プロセスコントロール（SPC）
・自動化によるレポート生成
・チャンバークリーニングのエンドポイント
・プロセスのエンドポイント
ウェハ計測：
・膜特性のモデリング
・歩留り予測
IPMインプリメンテーション
スタンドアローンIPMアプリケーション：
プロセスおよび装置のデータはリアルタイムでIPMシステムで分析され、迅速に装置にレスポンスされます。従って、製品ウェハを保護するために装置の停止などの必要な動作が、ただちに実行できます。
プロセスおよび装置データサーバー：
多くのAEC/APCネットワークは、プロセス装置から直接取得した装置のさまざまなデータに依存しています。このデータは、考えられる多くのクライアントアプリケーションに利用することができます。IPMシステムにより取得されたプロセスおよび装置のデータは、あらゆるAPCシステムを大幅に強化します。しかし、In-Situセンサで取得したデータには、特別な考慮が必要です。例えば、先進のセンサは、非常に高いデータレートを生成します。この結果、すでに他のデータソースにより負担（多くのツールにより収集された大量のSVIDなど）を強いられているネットワーク帯域に新たな負担が生まれます。さらに、生のセンサデータは、多くの場合専門家による解釈を必要とします。これら両方の問題を解決するのがIPMシステムです。IPMシステムは、生データを処理するためにユーザが定義したパワフルな機能セットを提供し、対応する解釈済みの情報だけをAPCネットワークに転送します。これら前処理された情報の例として、ユーザ定義可能な各ウェハ用のビン統計、装置およびプロセスの継続的なステータス指数、さらにアラームや警報などがあります。
IPMシステムは、APCプログラムがプロセスデータを活かせるように、最高の手段を提供します。圧縮されてない生データ、および分析済みの情報は、すべて任意のタイムスケールで利用できます。APCアプリケーションの価値は、IPMシステムに取り込まれるデータによって決まります。プロセスデータは自動化されたセンサから生成されます。このセンサが物理特性を実際に測定しています。データ品質は、ウェハごとにセンサ特性をどのくらい理解しているかにより異なります。IPMシステムは、In-Situセンサを管理するために必要な、そして、センサデータの品質を確かなものにするために必要なAPCネットワークの総費用を節約します。In-Situセンサからのプロセスデータは、校正および検証されます。
IPMの主要な特長
・先進のセンサを統合および同期
・複雑なプロセス変数をリアルタイムでモニタリングおよび分析
・異常検出に基づきツールを統合化
・マニュアルによるツールのトラブルシューティングが可能
・プロセスおよび装置データのローカルアーカイブを実現
インフィコンの統合型プロセスモニタ：
200mmスパッタエッチクリーン用 Stiletto IPM
In-Situ計測およびプロセスコントロール用のパーティクル検出システムです。
200mmおよび300mm PVDデ・ガスチャンバー用 Preclude IPMフォトレジスト検出
PVDツールデ・ガスチャンバーのフォトレジストを検出することにより、コスト増加を招くダウンタイムならびに、高コストのクリーンアップを必要とするコンタミネーションを軽減します。
Transpector IPMガス分析システム
高真空チャンバーのための自動モニタリングおよび診断システムです。
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FabGuard FDC
Manage a process, a tool, or your entire fab
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