PVD装置デガスチャンバーでのフォトレジストを検出し、コストのかかるダウンタイムと大掛かりなクリーンアップを引き起こす汚染を緩和します。
INFICONのPrecludeフォトレジストディテクターは継続的にデガスチャンバーを監視し、PVDクラスターツールのフォトレジストで汚染されたウェハを検出します。
デガスされる時にそれぞれのウェハに対してPrecludeがスキャンを行い、ミスや取り残しによってウェハに残ったフォトレジスト化合物の量をトレースする際にはアラーム音が鳴ります。高感度センサからの信号がクラスターツールの自動シャットダウンに使用され、ダメージを封じ込め、コスト高の歩留まり問題を回避します。
生産装置としての徹底的なテストで信頼できることが証明されているPrecludeフォトレジストディテクターは破局的な装置汚染の影響を除去します。 This results in reduced tool downtime for venting and cleaning.Precludeはまた、ウェハにごく少量のフォトレジストが残っていることから生じる膜蒸着問題も軽減します。
関連技術情報:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Preclude Photoresist Detector
English
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