Seguimiento de procesos integrados
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El seguimiento de procesos integrados proporciona mediciones directas de las condiciones del proceso para realizar una metrología a tiempo. Los monitores de procesos integrados INFICON aprovechan la energía de los sensores in situ y miden las condiciones del proceso actual para proporcionar una metrología de la oblea, del proceso y del equipo en tiempo real.
Aplicaciones IPM - Metrología total
Metrología del equipo:
- Diagnóstico de sistemas de vacío
- Comprobación de vacío básico
- Seguimiento inter-oblea
- Comprobación de fugas de helio
- Integridad de vacío
- Cualificación para la recuperación del mantenimiento preventivo
- Identificación de fuentes de partículas
- Detección de errores
Metrología de proceso:
- Predicción de limpieza de la cámara
- Control estadístico de procesos (SPC) automatizado
- Generación de informes automatizada
- Punto de equivalencia de limpieza de la cámara
- Punto de equivalencia de procesos
Metrología de la oblea:
- Modelado de las propiedades de las películas
- Predicción de rendimiento
Resumen de características
- Integración y sincronización de sensores avanzados
- Seguimiento e interpretación de variables de procesos complejos en tiempo real
- Integración de herramientas basadas en la detección de excesos
- Funcionamiento manual para la resolución de problemas de herramientas
- Registro de datos de equipos y procesos locales
Monitores de procesos integrados de INFICON
Detector de fotoprotección Preclude para cámaras de desgasificación de PVD de 200 mm
Detecta la fotoprotección en cámaras de desgasificación de herramientas de PVD. De esta manera, atenúa la contaminación que puede ocasionar un tiempo de inactividad costoso y una limpieza extensiva.
Tecnología de sensores de RF con el sistema de análisis e integración de sensores FabGuard
Proporciona un análisis de procesos de plasma en tiempo real para reducir de forma significativa la variabilidad de los procesos.
IPM Stiletto para la limpieza del decapado por pulverización de 200 mm
Sistema de detección de partículas para control de procesos y metrología in situ
Sistema de análisis de gases IPM Transpector
Sistema de diagnóstico y seguimiento automatizado para cámaras de alto vacío
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Clasificación y detección de errores FabGuard
Gestión de un proceso, una herramienta o toda una fábrica
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