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Transpector IPM Gas Analysis System
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Automatisiertes Überwachungs- und Diagnosesystem für Hochvakuumkammern
Der INFICON Transpector® Integrated Process Monitor (IPM) ist ein automatisiertes Überwachungs- und Diagnosesystem für Hochvakuumkammern. Der Transpector IPM baut auf der Transpector RGA-Technologie auf und wird vollständig in das Prozessgerät integriert.
Bei vielen Herstellungsprozessen für Wafer und Bildschirme bestehen hohe Anforderungen an Vakuumqualität und -integrität. Der Transpector IPM bietet eine hochempfindliche Restgasanalyse und eignet sich für präzise und wiederholbare Messungen während der Herstellung mit hohen Volumen. Darüber hinaus wird die Spektralinterpretation mit dem Transpector IPM wesentlich zuverlässiger. Überwachung, Datenerfassung und Datenanalyse wurden vollständig automatisiert.
Allgemeine Anwendungen:
- Überprüfung auf Heliumlecks
- Kontinuierliche Lecküberwachung
- Erkennung von Verunreinigungen
- Basisvakuumqualifizierung
Features auf einen Blick:
- 100 AMU Massenbereich mit einer Kombination aus Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher
- Automatische EM-Verstärkungsangleichung
- Dynamischer Bereich von neun Dekaden
- Automatische Abstimmung von Massenposition und -auflösung
- Variable Haltezeiten für höhere Signal-Rausch-Abstände
- MDPP von 5E-15 Torr
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English
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Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English
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