|
|
|
RF-Sensortechnologie mit FabGuard-Sensorintegration und Analysesystem
RF Sensor mit FabGuard Integration Software Echtzeit-Analyse von Plasmaprozessen zur deutlichen Reduzierung von Prozessabweichungen
Die INFICON RF-Sensortechnologie stellt äußerst genaue, multivariate RF-Daten über die tatsächlichen Plasmabedingungen von Prozessentwicklungs- und Produktionsprozessproblemen bereit, sodass Prozessschwankungen deutlich reduziert werden können. Als Neuentwicklung in dieser Reihe hoch entwickelter Vor-Ort-Prozesssteuerungssensoren kann dieser berührungsfreie RF-Sensor mit dem FabGuard Sensor Integration and Analysis System kombiniert werden, um wichtige Diagnoseinformationen zu ermitteln, wie z. B. einen präzisen und wiederholbaren Endpunkt für Kammerreinigung und Prozess, Ursachenanalyse bei Fehlern (beispielsweise Plasmalichtbögen) oder Prozessfingerabdrücke für den Kammerabgleich in PVD-, CVD- und Ätzanwendungen.
Die INFICON RF-Sensortechnologie mit FabGuard erstellt hochpräzise Modelle zur Vorhersage der Wafermesstechnik, die auf Messungen und Analysen der grundlegenden und harmonischen Spannungen und Stromflüsse beruhen. Dies ermöglicht den Technikern eine Überprüfung der tatsächlichen Wafer-Ergebnisse für jeden verarbeiteten Wafer. Die Kombination des einzigartigen, leistungsstarken FabGuard-Algorithmus mit der RF-Sensortechnologie bietet wesentliche Verbesserungen bezüglich Wiederholbarkeit, Stabilität und Präzision von Halbleiterprozessen auf Grundlage von Echtzeitmessungen und Korrelation. Die Steuerung erfolgt über eine übersichtliche Benutzeroberfläche.
Anwendungen
CVD
- Endpunktoptimierung von Vor-Ort-Reinigungsprozessen für Plasmakammern
- Aktive Steuerung der aufgenommenen Leistung
- FDC (z. B. Lichtbogenerkennung, Ladung)
- Kammernabgleich (RF-Fingerabdruck)
PVD
- Modellierung von Waferparametern wie z. B. spezifischer Widerstand
- FDC (z. B. Lichtbogenerkennung, Ladung)
- Kammernabgleich (RF-Fingerabdruck)
Ätzverfahren
- Endpunktsteuerung für Ätzprozesse
- Aktive Steuerung der aufgenommenen Leistung
- Modellierung von Prozessparametern wie z. B. Ätzrate
- FDC
- Kammernabgleich (RF-Fingerabdruck)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
FabGuard FDC
Verwalten Sie einen Prozess, ein Gerät oder eine ganze Fabrik
|
|
|
|
