Erkennt Fotolack in Entgasungskammern von Geräten zur physikalischen Dampfabscheidung und verhindert so Verunreinigungen, die kostspielige Ausfallzeiten und umfangreiche Reinigungen verursachen können.
Der INFICON Preclude Photoresist Detector überwacht in PVD-Clustergeräten kontinuierlich die Entgasungskammern und erkennt mit Fotolack verunreinigte Wafer.
Der Preclude tastet jeden Wafer während des Entgasens ab und gibt einen akustischen Alarm aus, wenn sich aufgrund eines unvollständigen oder fehlerhaften Streifens auch nur Spuren von Fotolackverbindungen auf dem Wafer befinden. Ein Signal von dem hochempfindlichen Sensor kann dazu verwendet werden, ein Clustergerät automatisch abzuschalten, um Schäden und kostspielige Ertragsverluste zu vermeiden.
Der Preclude Photoresist Detector wurde in umfangreichen Tests mit Produktionsgeräten auf seine Zuverlässigkeit geprüft und hilft, die Auswirkungen von schwerwiegenden Geräteverunreinigungen zu verhindern. Dies verringert die Geräteausfallzeiten zur Entlüftung und Reinigung. Mit dem Preclude können außerdem Probleme bei der Schichtabscheidung vermieden werden, die durch sehr kleine Mengen an verbleibendem Fotolack auf dem Wafer verursacht werden.
ZUGEHÖRIGE TECHNISCHE INFORMATIONEN:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Preclude Photoresist Detector
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