Partikelerkennungssystem für lokale Messtechnik und Prozesssteuerung
Stiletto IPM ist ein Partikelerkennungssystem für lokale Messtechnik und Prozesssteuerung, das für anspruchsvollste Halbleiterprozesse Verbesserungen bei Ertrag und Produktivität ermöglicht. Stiletto ist das erste lokale Partikelüberwachungssystem, das vollständig in die Prozessanlage integriert werden kann. Bei Kombination mit parametrischen Gerätedaten können Partikelzählungen und Gerätestatus übereinandergelegt werden, sodass Techniker Zeitpunkt und Ursache der Partikelbildung exakt bestimmen können. Die Fähigkeit des Stiletto, Partikel während jedes Durchlaufs jedes Wafers zu erkennen, bietet einen beispiellosen Schutz gegen durch Fehler verursachte Ertragsverluste.
Scannen für höhere Empfindlichkeit
Der Stiletto-Resonanzscanner überwacht kontinuierlich eine wesentlich größere Menge als die stationären Laserstrahlsysteme, die in den vorhandenen lokalen Partikelmonitoren verwendet werden. Dadurch kann der Stiletto statistisch wertvolle Zählraten für die Prozesssteuerung bereitstellen. Außerdem ermöglicht das wiederholte Scannen der gleichen Menge die Autokorrelation, eine fortgeschrittene Signalverarbeitungstechnik, die falsche Zählungen praktisch unmöglich macht. Diese Kombination modernster Technologien bietet Submikrometer-Empfindlichkeit, mit der "Killerpartikel" erkannt und störende Ereignisse vermieden werden. Sie erhalten so eine verlässliche Fehlererkennung für jeden Wafer, jeden Durchlauf und jeden Zeitpunkt.
Features auf einen Blick:
- Resonanzscannerlaser für größeren Erkennungsbereich und präzise Partikelgrößenbestimmung
- Erweiterte Signalverarbeitung bestätigt Partikelereignisse und macht Fehlalarme praktisch unmöglich
- Reduziert Kosten durch Ertragssteigerung und weniger Testwafer
- Erhöht Produktivität und Geräteverfügbarkeit
- Die Sensorbuskommunikation ist mit bestehenden AEC/APC-Systemen kompatibel
- Verfügbar für Pumpe-Leitung- und Above-Wafer-Anwendungen in Prozesskammern, Transferkammern und Schleusen
ZUGEHÖRIGE TECHNISCHE INFORMATIONEN:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Stiletto Scanning-Laser Particle Detector
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Technical Information:
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Application Note - Endpoint Detection for Chamber Clean / Novellus SPEED Nitride CVD
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Application Note - Integrated Process Monitoring for Sputter Etch Clean
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